научно-исследовательская лаборатория дизайна сложнофункциональных сверхбольших интегральных схем и систем на кристалле дизайн-центра технологий радиофотонной компонентной базы и материалов института нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике НИЯ 113402